在現(xiàn)代科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域，掃描電鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種重要的分析工具。它以其空間分辨率、豐富的表面信息和多樣的樣品適用性，成為材料科學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域不可少的關(guān)鍵技術(shù)之一。掃描電鏡的核心工作原理基于電子與物質(zhì)相互作用的理論。當(dāng)一束細(xì)聚焦的高能電子束照射到樣品表面時(shí)，會(huì)在樣品中激發(fā)出各種信號(hào)，如二次電子、背散射電子、特征X射線等。這些信號(hào)被相應(yīng)的探測(cè)器捕獲并轉(zhuǎn)換為圖像，從而提供關(guān)于樣品表面形貌和組成的信息。
 

　　1.電子槍與電子束的形成：電子通過電磁透鏡系統(tǒng)聚焦成極細(xì)的束流，然后以光柵掃描的方式照射到樣品表面上。
 

　　2.信號(hào)的產(chǎn)生與收集：當(dāng)電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生多種類型的信號(hào)。其中，二次電子因其對(duì)樣品表面形貌非常敏感，常用于生成高分辨率的表面形貌圖像。背散射電子則提供了有關(guān)樣品組成和拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的信息。
 

　　3.信號(hào)的處理與成像：收集到的信號(hào)經(jīng)過放大處理后，用于調(diào)制顯示器上的亮點(diǎn)強(qiáng)度，最終形成一幅反映樣品表面特性的圖像。
 

　　掃描電鏡的主要特點(diǎn)：
 

　　1.高分辨率：能夠提供納米級(jí)別的高分辨率圖像，使得科學(xué)家能夠觀察到微觀世界中的細(xì)節(jié)。
 

　　2.三維形態(tài)觀察能力：由于二次電子主要來自樣品表層幾納米的深度，因此SEM圖像具有很好的三維形態(tài)感，適用于復(fù)雜表面結(jié)構(gòu)的觀察。
 

　　3.樣品適應(yīng)性強(qiáng)：無論是導(dǎo)體還是非導(dǎo)體，只要適當(dāng)處理，幾乎所有類型的樣品都可以通過SEM進(jìn)行觀察。
 

　　4.成分分析功能：配合能量色散X射線光譜儀(EDS)，SEM還可以進(jìn)行元素的定性和定量分析。