臺(tái)式掃描電子顯微鏡的原理如下：
 

　　1.電子源：電子源通常采用熱陰極，即將鎢絲加熱到高溫，使其發(fā)射電子，并通過加速電場(chǎng)使電子獲得足夠的能量。
 

　　2.電子光學(xué)系統(tǒng)：電子束從電子源發(fā)出后，通過一系列的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦和光學(xué)修正，使電子束聚焦在樣品表面上。透鏡系統(tǒng)由透鏡和準(zhǔn)直器組成，能夠控制電子束的聚焦和掃描范圍。
 

　　3.樣品臺(tái)：樣品臺(tái)是樣品放置的平臺(tái)，樣品放置在樣品臺(tái)上，通過樣品臺(tái)的移動(dòng)和調(diào)整，使樣品處于最佳觀察位置。樣品臺(tái)還可以通過電動(dòng)裝置旋轉(zhuǎn)、傾斜或移動(dòng)，以觀察不同角度或不同位置的樣品表面。
 

　　4.掃描線圈：掃描線圈負(fù)責(zé)控制電子束的掃描方式，使電子束在樣品表面按照預(yù)定的方式進(jìn)行掃描。掃描線圈負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)掃描速度和掃描范圍，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的全面觀察。
 

　　5.信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)：當(dāng)電子束照射到樣品表面時(shí)，樣品會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào)，包括二次電子信號(hào)、反射電子信號(hào)和散射電子信號(hào)等。信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)這些信號(hào)進(jìn)行收集和分析，然后將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，經(jīng)過放大和處理后送入顯示器進(jìn)行圖像顯示。
 

　　6.顯示器：顯示器是將信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)生的電信號(hào)轉(zhuǎn)換為圖像的設(shè)備，在顯示器上可以清晰地觀察到樣品表面的微觀形貌和結(jié)構(gòu)。

  

　　臺(tái)式掃描電子顯微鏡的維護(hù)保養(yǎng)方法：
 

　　1.定期清潔樣品臺(tái)和電子鏡掃描室，避免灰塵或其他碎屑對(duì)電子束的影響。
 

　　2.使用干凈的畫筆等工具清理樣品臺(tái)和樣品表面。
 

　　3.常規(guī)檢查各部位的連接，確保電子顯微鏡的穩(wěn)定性。
 

　　4.定期對(duì)電子槍進(jìn)行清洗和燒結(jié)，以保持其性能。
 

　　5.定期校準(zhǔn)電子顯微鏡，確保其精度和準(zhǔn)確性。
 

　　6.避免過度使用電子顯微鏡，盡量減少電子束的傷害，延長設(shè)備壽命。