場發(fā)射電鏡采用了肖特基場發(fā)射電子(SFE)源。其特點(diǎn)是：探針電流大，容易進(jìn)行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，<1%。束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%/h。適宜于長時(shí)間的各種準(zhǔn)確分析。對(duì)環(huán)境、樣品要求較低。使用方便、維護(hù)簡單，且工作穩(wěn)定?？商峁└叩枚嗟奶綔y電流來滿足使用需要：能量發(fā)散于冷場發(fā)射(CFE)源類似，但發(fā)射電流卻高出50多倍；而較大的虛擬源尺寸，可以將振動(dòng)的敏感性大幅度降低。高亮度的肖特基場發(fā)射(SFE)源結(jié)合創(chuàng)新的GEMINI鏡筒提供了用于高分辨率的小束斑尺寸，同時(shí)具有高的襯度和高的束流。
 

　　場發(fā)射電鏡加速電壓0.1-30kV，且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低，像差也隨著降低。從而在降至100V時(shí)，也有水平的分辨率，在30KV時(shí)具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉，降低了電子束電子之間的靜電庫倫作用，避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時(shí)，始終能提供電子束亮度。
 

　　電磁透鏡與靜電透鏡的組合等效于一個(gè)三片型光學(xué)透鏡組。增大了試樣處的入射電子束孔徑角，進(jìn)而提高分辨率；透鏡控制系統(tǒng)集成有聚焦控制功能，無論工作距離有多長、所選能量多大、二者的組合方式如何，都能隨時(shí)選出合理的電子束孔徑，即使分辨率極限下，也能提供出色的圖像襯度。
 

　　具有較好的消像差功能，可使電鏡更清晰成像。GEMINI透鏡中集成有一個(gè)單級(jí)電子束掃描系統(tǒng)，其位于靜電透鏡縫隙的前方，降低了橫向色差及其它掃面色差。